- 涂層測(cè)厚儀
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- 高斯計(jì)
XP-703DIII測(cè)漏檢測(cè)(半導(dǎo)體用)參數(shù):
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型號(hào) |
XP-703DⅢ |
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檢測(cè)對(duì)象氣體 |
H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
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檢測(cè)原理 |
專(zhuān)線(xiàn)型半導(dǎo)體式 |
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采集方式 |
自動(dòng)吸引式 |
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可檢測(cè)泄漏量 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
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可檢測(cè)濃度 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
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反應(yīng)時(shí)間 |
10秒以?xún)?nèi) |
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顯示方式 |
液晶數(shù)字(手動(dòng)背景燈) |
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電源(額定) |
5號(hào)堿性干電池(LR6) 2節(jié) |
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電池使用時(shí)間※1 |
約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池、25℃時(shí)) |
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保護(hù)等級(jí)※2 |
相當(dāng)于IP22※3 |
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使用壓力范圍 |
大氣壓(800~1100kpa) |
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使用溫濕度范圍 |
0~40℃/85%RH以下(但不能結(jié)露) |
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外形尺寸 |
W38×H130×D32㎜(突出部分除外) |
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重量 |
約190g(包括電池、皮套) |
